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微光显微镜EMMI

项目定义：

EMMI微光显微镜又称PEM、InGaAs或CCD，是通过观察芯片漏电引起微弱的发射，确定漏电位置，帮助进行故障分析，是多层金属线芯片、LOC结构、倒装芯片和CSP等，集成电路芯片正面、背面分析必不可少的技术。


应用优势：

正面、背面EMMI集成一个红外焦距显微镜，实现了1024*1024像素的高分辨率InGaAs探头，穿透1mm芯片背面成像，IROM背景叠加定位，可以在红外波长区域以高度灵敏检测到非常微弱的发射，正面背面都可以定位，板子上的芯片开封后可以直接做定位，帮助客户检测IV曲线漏电漂移。


红外焦距显微镜成像高分辨率和对比度


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微光显微镜EMMI
EMMI微光显微镜又称PEM、InGaAs或CCD，是通过观察芯片漏电引起微弱的发射，确定漏电位置，帮助进行故障分析，是多层金属线芯片、LOC结构、倒装芯片和CSP等，集成电路芯片正面、背面分析必不可少的技术。
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